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产品:AXISTEC 晶圆断面耦合台

AXISTEC 耦合台一款完全集成的光电测试仪,专为高精密光学和电学测量。支持晶圆芯片边缘和垂直光栅耦合,使晶圆和芯片级测试具有强大的安全功能。针对大规模生产进行了优化,并具有足够的研发灵活性,将自动化与先进光子学应用的适应性相结合。

多种操作类型:手动操作/半自动化操作/全自动操作

耦合方式:垂直和边缘耦合

高精度和重复性:高精度处理和测试方面出色;可靠、可重复和全自动的接触,精确的免提测试

自动化和可定制测试结构:一键式测试自动化;针对不同DOE的可定制测试结构

灵活性:支持各种热配置,有或没有集成供暖,最高可达+200 摄氏度/300 °C 

高度灵活的平台,兼容多种光电电动工具和测量设备

支持多种软件的自动化框架平台、库和驱动程序接口(如Python、LabVIEW、可编程仪标准命令)

适用于从研发到多点量产的各种应用环境,用于标识KGD裸片(known-good-die)

在集成的光子平台上进行光电测试:硅光子、磷化铟、III-V族、聚合物、异质

应用广泛:电信和数据通信光模块、传感器